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真空熱處理是真空技術(shù)和熱處理相結(jié)合的綜合技術(shù)，是指熱處理過程的全部和部分都是在真空狀態(tài)下進(jìn)行的。我國的真空分為低真空、中真空、高真空和超高真空。

在熱處理領(lǐng)域，真空爐和中頻電爐具有良好的發(fā)展前景。用于透熱、軋制、鍛造、彎曲、熱處理(淬火)、感應(yīng)加熱等焊接過程。那真空爐和中頻電爐的熱處理工藝是什么？
在真空爐中處理鈦合金時(shí)，由于鈦和氮在高溫下反應(yīng)產(chǎn)生鈦氮化物，不能使用氮?dú)庾鳛槔鋮s氣體。
真空爐的活動(dòng)連接部分全部用O形圈密封，并用水冷卻。

工件真空淬火時(shí)，應(yīng)使用飽和蒸汽壓低的真空淬火油。

真空爐的維修應(yīng)處于真空或純氮充氣狀態(tài)，避免空氣吸收和吸濕不用時(shí)。

國內(nèi)真空爐升壓率不超過1.33pa//h，國外一些企業(yè)的升壓率為0.67pa/h

真空加熱主要是輻射加熱，爐內(nèi)工件之間應(yīng)保持一定的距離。

在加熱過程中，工件和爐料會(huì)被放氣以降低真空度。

真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時(shí)效的加熱溫度一般與常規(guī)處理相同。

真空回火爐應(yīng)該配備快速冷卻裝置。冷卻水壓力大于0.2MPa，流量可調(diào)。

冷卻氣體：一般鋼材采用99.995%純氮，高溫合金采用99.999%氮或氬，鈦合金采用99.995%氬。

加熱：工件放入后，經(jīng)預(yù)抽至6.67pa方可加熱。